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合金42CrMo圆钢氮化硅技术带来的优质效果

作者:www.40cryg.cn 发布于:2019/3/2 23:45:47 点击量:

合金42CrMo圆钢氮化硅薄膜还具有良好的钝化效果,对质量较差的合金42CrMo圆钢能起到表面和体内的钝化作用。目前,合金42CrMo圆钢氮化硅薄膜的主要制备技术有低压化学气相沉积,射频等离子体增强化学气相沉积等技术,但这些技术存在沉积温度高的缺点。电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积具有等离子体密度高、电离度高、对衬底材料轰击能量低、沉积温度低、易于大面积均匀沉积等优点,因此,XZSD可在较低沉积温度下制备性能良好的合金42CrMo圆钢氮化硅薄膜。


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